목적
KRISS는 소재 · 부품 · 장비의 다변화를 위해 노력하는 기업을 응원합니다.
긴급 기술지원이 가능한 분야는 다음과 같습니다.
| 대분류 | 중분류 | 소분류 | 분석 및 측정 서비스 가능 분야 |
|---|---|---|---|
| 공정 | 공정상태측정 | 리크, 공정가스, 플라즈마 부품 및 내구성, 온도, 수분, 압력, 유속 | 진공시스템 리크, 공정가스 상태, 부품 내구성, 공정온도특성, 공정수분, 공정유속특성 |
| 소재 | 박막물성측정 | 거칠기, 두께, 열물성, 광물성, 패턴분석, 조성, 강도, 결정, 경도, 형상 | 박막두께, XRR, XPS, 박막 열물성, 열전도도, 박막 굴절율, EL(광전자소자분석), Raman PL, PL(반도체소재 광발광 특성분석), Micro 강도, Nano 강도, TEM, XRD, D-SIMS, 간섭계, 융합현미경, XPS이용 표면조성분석 |
| 공정가스물성 측정 | 증기압, 가스 성분분석 | 박막증착용 소재 증기압, 증착소재 불순물 | |
| 부품 | 진공부품 성능평가 | 탈기체시험, 진공펌프, 진공코팅부품, 진공게이지/진공기밀성, 반도체진공재료 | Outgassing(탈기체), 펌프 특성, 진공코팅 내구성, 오염입자측정, 진공상태 및 특성, 반도체재료 공정특성 |
| 기타 성능평가 | 광학센서, 히터, FAB 오염물질, 액체유량계, 기체유량계, 웨이퍼형상(워피지), 웨이퍼 알파방출률 | 공정진단특성, 광삼각법, Fiber, 균일도 및 내구성, 정량분석, 정밀도 및 정확도분석, 간섭계, 웨이퍼 단위 면적당 알파 표면 방출률 | |
| 기타 | 소재 · 부품 · 장비의 다변화와 관련한 시험, 기술상담 등에 대해서도 문의하시면 정성을 다해 도움을 드리도록 하겠습니다. | ||
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