나노종합기술원, 12인치 반도체 가늠터(테스트베드) 공식서비스 개시 - 국내 반도체 소부장 기업과 불화아르곤(ArF) 액침(Immersion)용 감광제, 극자외선(EUV) 초박막 소재․부품 등 국산화 기술개발 본격 지원 - |
□ 과학기술정보통신부(장관 최기영, 이하 ‘과기정통부’)가 국내최초로 나노종합기술원(원장 이조원, 이하 ‘종기원’)에 12인치 반도체 테스트베드(이하 ‘12인치 테스트베드’) 구축을 완료하고, 3월 17일부터 국내 산·학·연 이용자에게 공식서비스를 본격 추진한다.
ㅇ 반도체 생산용 소재․부품은 2019년 7월 일본의 수출규제에 따라 우리나라에 소재․부품․장비(이하 ‘소부장’) 기술자립화에 대한 경각심을 불러일으킨 대표품목이다.
ㅇ 일본 수출규제 이전에도 국내 반도체 소부장 기업들은 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어, 대기업 납품에 필요한 수준의 평가결과를 획득하는데 많은 애로가 있었다.
- 이에 대부분의 중소기업들은 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용하거나, 종기원의 8인치 장비를 활용한 기초평가 수준에서 만족할 수밖에 없는 상황이었다.
※ 반도체 대기업(삼성전자, SK하이닉스반도체 등)에서 요구하는 12인치 웨이퍼上에서의 소재 균일도, 결함 등 완성도 평가가 국내에서 불가능
□ 이러한 문제를 해결하기 위해 과기정통부는 2019년 8월 종기원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정하고 청정실과 핵심장비 구축, 장비안정화 작업을 신속히 추진하여 2021년 3월 17일부터 공식서비스를 개시하게 되었다.
※ 국비 총 450억원을 투자하여 핵심장비 10대 구축, 공정기술 개발 추진
□ 향후 국내 반도체 소부장 기업들은 종기원의 12인치 테스트베드를 활용하여 반도체 핵심소재 성능 테스트를 신속하게 지원받을 수 있게 되어, 반도체분야 소부장 기술자립화에 소요되는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 수 있게 되었다.
ㅇ 이조원 종기원 원장은 “현재 12인치 테스트베드는 40nm 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심소재(감광제 등)와 장비개발을 집중 지원할 예정이며, 향후 20nm급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획이다”라고 밝혔다.
□ 과기정통부 김봉수 기초원천연구정책관은 “반도체 산업은 국가 수출의 20%를 담당하는 핵심 주력산업으로, 대기업뿐만 아니라 다양한 소부장 중소기업들과 대학․출연연 연구자들이 협업하는 대규모 연구․산업 생태계를 갖추고 있는 분야”라고 하며,
ㅇ “과기정통부는 앞으로 반도체 분야의 발전을 위해 기초․원천 연구지원과 병행하여, 수준 높은 인프라 지원을 위한 투자확대, 기능고도화 등의 노력을 지속적으로 추진하겠다”고 밝혔다.
