과학기술정보통신부 공고 제2024 - 1012호
2024년도 반도체 글로벌 첨단 팹 연계 활용사업
(소부장실증평가지원) 신규과제 2차 선정결과 공고
2024년도 반도체글로벌첨단팹연계활용사업(소부장실증평가지원) 신규과제 선정결과를 다음과 같이 공고합니다.
2024년 10월 29일
<주무부처> 과학기술정보통신부 장 관 유 상 임
<전문기관> 나노종합기술원 원 장 박 흥 수
□ 선정과제
연구개발과제번호 | 과제명 |
RS-2024-00507452 | 반도체 공정 결함 광학검사 장비용 결함 표준샘플 제작 |
RS-2024-00509801 | 10nm 이하 초미세 패턴 형성을 위한 EUV 하드마스크 공정 장비 개발 |
RS-2024-00509888 | EUV 초미세 나노팹 공정 기반 초고효율 3D SERS 센서 개발 |
□ 평가결과
ㅇ 평가결과 및 종합의견은 범부처통합연구지원시스템(https://www.iris.go.kr/)에서 개별적으로 확인 가능합니다([붙임 1] 참조).
□ 선정결과에 대한 이의신청 안내
ㅇ 이의신청의 내용
- 통보된 평가결과에 한정되며 평가위원, 평가방법 및 절차 등에 관한 사항은 신청 대상에서 제외합니다.
ㅇ 제출서류 : 이의신청서 온라인 입력 및 첨부자료*([붙임 2] 서식 참조)
* 평가결과서 및 주관연구개발기관 공문 첨부 필수
ㅇ 제출방법 : 범부처통합연구지원시스템*(IRIS, https://www.iris.go.kr)을 통해 온라인으로 제출(주관연구개발기관 승인 포함)
* IRIS R&D업무포털 > 과제평가 > 평가결과 이의신청
ㅇ 제출기한 : 2024. 11. 7.(목) 23:59:59 (주관연구개발기관 승인 포함)
※ 11.7.(목) 23:59:59까지 IRIS로 접수된 이의신청 건만 인정하며, 11.7.(목) 23:59:59 후에는 이의신청 접수시스템이 차단되므로 이의신청서 제출 불가
ㅇ 문의처
소속기관 | 부서 | 성명 | 전화번호 | 이메일 |
나노종합기술원 | 인재·성과관리실 | 이 규 정 | 042-366-2025 | kjlee@nnfc.re.kr |
□ 선정결과에 대한 협약 안내
ㅇ 선정과제에 대한 연구비 및 협약체결 요령은 연구책임자 및 주관연구개발기관에 별도 통보 예정입니다.
