□ 소재․부품․장비 기술자립 지원을 위한 핵심사업인 ’반도체 소재․부품․장비 테스트베드 구축사업‘이 대기업 유휴장비 도입을 통해 예산과 시간을 절감하는 등 차질 없이 추진 중이다.
□ 과학기술정보통신부(이하 ’과기정통부‘) 최기영 장관은 8월 11일(화) 국내 최초로 나노종합기술원(원장 이조원, 이하 ’나노종기원‘)에 구축되는 반도체 소재·부품·장비 국산화 지원 테스트베드 현장을 찾아 진행상황을 점검하고 테스트베드 활성화를 위한 간담회를 가졌다.
□ 테스트베드는 대기업 양산설비와 비슷한 실장환경을 구축하여 중소기업의 소재․부품․장비에 대한 실험․성능평가를 지원하는 역할을 하는데,
ㅇ 과기정통부는 작년 하반기부터 테스트베드에 필요한 핵심장비 도입(10대)을 추진해 왔고, 얼마 전 반도체 노광장비를 대기업의 협조를 바탕으로 확보하는 한편, 나머지 장비들도 올해말까지 구축을 모두 완료할 계획이다. 아울러 장비구축과 동시에 시범서비스를 제공하고, 공정고도화를 통해 서비스의 질적 수준을 높이게 된다.
| <반도체 테스트베드구축 추진현황> |
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- (예산/기간) 450억원(장비구축385억원, 시설 43억원, 공정개발 22억원) / ’19~’22년 - (장비) ArF Immersion 노광기, Track 등 2개 입고완료(‘20.7.2), 그 외 장비(8대) 연내 입고 완료 - (시설) 테스트베드 전용클린룸 구축완료(‘20.6월) - (공정개발) 장비입고와 동시에 추진 | ||
□ 현장점검 후 실시된 간담회에는 반도체 소재·부품·장비 중소기업을 비롯, 한국반도체산업협회와 삼성, SK하이닉스, ASML코리아 등 반도체 분야 핵심 관계자들이 참석하여, 테스트베드 발전을 위한 기업 건의사항, 상생협력방안 등에 대해 논의하였다.
ㅇ 또한, 간담회에서는 최근 나노종기원 팹시설을 활용하여 기술개발과 사업화에 성공한 기업들*의 성공사례들도 소개되었다.
* ①㈜트루윈: 적외선 열영상센서, ②㈜티엔에스: 코로나19 진단키트
③㈜템퍼스: 비접촉식 적외선 체온계, ④DCT(주): 메모리반도체용 하드마스크
□ 최기영 장관은 “일본 수출규제와 최근 코로나19로 인한 글로벌 공급망 재편 움직임의 ‘위기’가 산․학․연․관 역량결집의 ‘기회’가 되고 있다”며,
ㅇ “나노종기원의 테스트베드가 현장수요에 부합하는 양질의 서비스 제공을 넘어 소재․부품 공급기업과 최종 수요기업의 적극적인 연계와 협력을 위한 플랫폼이 되도록 노력해 달라”고 당부하였다.
□ 나노종기원은 테스트베드의 기초․적용 단계 성능평가 결과를 수요기업의 양산평가에 연계할 수 있도록 반도체산업협회와의 협력을 강화(업무협약 체결 등)하는 한편, 개방장비 및 이용시간 확대, 인력확충 등을 통한 전반적인 서비스 혁신을 추진할 계획이며,
ㅇ 코로나19와 같은 감염병 이슈해결을 위해 나노팹 장비와 공정기술을 기반으로, 대학․연구소, 병원, 기업 등과의 협업을 통한 나노바이오디바이스 개발도 더욱 적극적으로 추진할 예정이다.
