□ 국내 중소기업이반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원(원장 이조원, 이하 ‘나노종기원’)과의 양산기술 공동개발을 통하여 ‘비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서’의 양산에 성공하였다.

 ㅇ 코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하면서(주)템퍼스는 체온계용 적외선 온도센서의 대량양산 기술개발을 나노종기원과 공동으로 추진해 왔다.

 ㅇ 이번에 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용하여 높은 수율 확보가 가능하고 공정단순화로 가격경쟁력을 획기적으로 높인 것이 가장 큰 장점이다. 

□ 마이크로 적외선 센서는그동안, 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점해 왔는데, ㈜템퍼스와 나노종기원이 공동개발을 통해, 

ㅇ 미세기계전자시스템(MEMS)기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목하여 생산성을 획기적으로 향상하였고, 경쟁사 대비, 감도가 3~5배 우수한 특성을 확보하였다.

□ 최근 코로나19로 인한 방역에 필수적인 비접촉식 체온계의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라, 중국 등 아시아, 미국, 유럽 등 해외에서 구매문의가 크게 늘고 있는 추세로, 

ㅇ 이미 500만개의 온도센서를 국내·외 체온계 제작기업에납품 완료하였고, 최근에는 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아('20.6.15) 본격적인 미국 수출을 앞두게 되었다. 

□ (주)템퍼스 신백규 대표는 “적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통하여 제품양산과 다양한 어플리케이션의 확대가 가능하게 되어, 국내·외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획이다.”라고 밝혔다. 

□ 과기정통부 고서곤 기초원천연구정책관은 “시스템반도체 및 센서는 물론, 소재·부품·장비 기술자립 및 유망기업 육성을 위해, 나노종합기술원과 같은 나노인프라 기관과 수요기업간 연계를 지속적으로 강화하고 지원을 확대해 나갈 예정”이라고 밝혔다 

□ 한편, 나노종기원은 자체 개발한 핵심공정기술*을 중소 센서기업인 ㈜트루윈에 이전하고, 공동으로 양산기술을 개발한 이후, 양산단계까지 지원하여, 지난 3월에 ‘적외선 열영상 센서’ 상용화에 성공한 바 있으며, ㈜트루윈이 양산·판매중인 센서와 적외선 영상 카메라는 코로나19로 인한 국내·외 수요 증대로 올해 약 145억원의 매출이 예상된다.

* (특징) 기존 센서제작 공정과 달리 ①반도체 공정 호환적용으로 수율제고 가능

②별도 패키징 공정이 필요없는 웨이퍼레벨 패키징으로 초소형화 가능