첨단 반도체 공정 서비스를 인공지능과 데이터기반으로 제공한다

- 총 270억원 투입, 나노팹 공정 스마트 서비스 사업 신규 추진 -

 
 

□ 과학기술정보통신부(장관 이종호, 이하 ‘과기정통부’)는 7월 20일(수) 나노종합기술원(원장 이조원)에서 “공공 나노팹 운영 혁신 자문위원회”를 개최하면서, ’22년 신규사업으로 ‘인공지능(AI)‧데이터 기반 나노팹 공정 스마트 서비스’ 구축을 추진한다고 밝혔다.

 

 ㅇ 이번 사업은 공공 나노팹이 데이터 기반의 고도화된 공정서비스를 제공하도록 나노팹 공정 데이터의 체계적이고 지속가능한 활용 기반을 갖추어나가는 사업으로, ’22년부터 ’26년까지 총 270억원을 투입하여 추진할 예정이다.

 

□ 그간 나노종합기술원 등 공공 나노팹에는 매년 수만 건의 나노·반도체 분야 공정서비스를 지원하는 시설은 갖추어져 있으나, 서비스 데이터를 축적하여 활용할 수 있는 기반이 없어 공정 경험을 축적하고 활용하는 체계적 서비스 운영에 한계가 있었다.

 

 ㅇ 이를 해결하기 위해 본 사업은 개별 장비 단위로 운영인력의 경험과 실력에 좌우되어 관리되던 공정과 장비 데이터를 빅데이터화하고, 장비 간 데이터를 유기적으로 연계하는 등 인공지능(AI) 기반의 나노팹 스마트 운영서비스를 구축할 예정이다.

 

 ㅇ 이를 통해 연구기관과 기업에 제공하는 나노팹 공정서비스의 수준을 획기적으로 제고하고 연구개발에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 계획이다.

 

 
□ 이번 사업은 ①나노팹의 스마트화를 통한 기능과 서비스 고도화와 ②나노팹 공정데이터의 빅데이터화와 인공지능을 활용한 디지털화로 이루어진다.

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< 사업 개요도 >

 

 ① 엔지니어가 보유한 전문성과 상호 보완이 가능한 데이터 기반의 연구 지원체계를 구축하여 공정서비스 시간을 최소화하고 인력공백으로 인한 공정서비스 단절을 극복하며, 실패 공정 답습으로 인한 연구개발 지원의 비효율성을 없애는 등 나노팹 지원체계의 효율화와 효과성을 강화한다.

 

 ② 데이터와 인공지능을 활용한 공정검증, 공정‧장비 데이터의 공공화로 체계적이고 신속·정확한 공정구현이 가능해짐에 따라, 연구개발에 소요되는 시간과 비용을 줄이는 등 최첨단 장비 기반 국가 나노 산업 생태계 성장 촉진을 위한 나노팹의 공정데이터 활용체계를 극대화한다.

 

□ 이번 사업을 통해 그간 데이터가 부재하여 어려움을 겪었던 나노‧반도체 기업과 연구기관에 품질·설계 검증, 성능검증 등에 활용 가능한 필요 데이터를 제공함으로써, 나노‧반도체 분야 연구개발 생태계의 디지털화와 산업화 촉진에 이바지할 것으로 기대한다.

 

□ 과기정통부 이창윤 기초원천연구정책관은 “이번 사업은 반도체 공정 등에 데이터와 인공지능을 적용하여 연구성과를 창출하는 혁신적이고 의미있는 사례가 될 것이다”라며, “향후 국가나노인프라기관에 적용을 확대함으로써 산‧학‧연 반도체 공정개발에 크게 기여할 것으로 기대한다”고 밝혔다.