문화체육관광부	보 도 자 료

보도 일시	2022. 9. 12.(월) 11:00 < 9.13.(화) 조간 >	배포 일시	2022. 9. 12.(월)

담당 부서	수소경제정책관	책임자	과 장	황윤길	(044-203-3980)
	에너지안전과	담당자	사무관	이승준	(044-203-3983)

첨단 반도체 장비(EUV) 도입 규제 등 반도체 초강대국 달성을 위한 가스안전분야 규제 혁신(11건)

□ 산업통상자원부(장관 이창양, 이하 산업부)는 반도체 초강대국 달성을 위해 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제(11건)를 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선하여 기업부담을 완화할 계획이다.

ㅇ 산업부는 그동안 반도체 산업을 지원하고, 반도체 제조 용도의 수입 산업가스* 수급안정을 위하여‘검사생략 고압용기의 해외 반송기한’을 6개월에서 최대 2년으로 연장하는 등 지속적으로 규제를 발굴․개선해 왔다.

*  디플루오로메탄(CH2F2, 반도체 식각용), 삼불화붕소(BF3, 반도체 도핑용) 가스 등

ㅇ 특히, 이번에 선정된 11개 규제는 규제 개선시 국내 반도체산업의 글로벌 경쟁력을 한층 더 높일 수 있는 과제로, 반도체관련 단체 및 기업과의 간담회․현장방문 등을 통하여 도출하였다.

□ (그간 경위) 산업부는 금년 6월부터 반도체기업 및 유관협회에 대한 의견수렴과 간담회* 등을 통해 반도체 제조공정에 쓰이는 수소를 포함한 고압가스의 안전규제에 대하여 다양한 개선과제를 발굴하였으며,

* 반도체 협회 및 반도체기업(삼성 등) 간담회(7.20), 현장방문 등 추진

ㅇ 이 중, 안전성이 확보되면서도 기업 활동을 촉진할 수 있는 고압가스 관련 반도체 생산장비 및 저장설비 등에 대한 7개* 과제를 전문가 검토 등을 거쳐 신속히 개선해 나갈 계획이다.

* 반도체 생산장비 분야 3건, 저장 등 시설분야 4건 등 총7건 (붙임1 참조)

ㅇ 아울러, 나머지 4개 과제에 대해서도 관련단체․업계와 간담회, 현장방문 및 전문가 검토 등을 통하여 안전성을 확인하고 타 법령과의 연계 가능성 등을 고려하여 개선방안을 모색할 예정이다.

□ (주요 규제) 주요 규제 및 개선 기대효과는 ①차세대 EUV 장비*의 국내도입시 걸림돌을 제거하여 첨단제조설비를 선점함으로써 글로벌 경쟁력을 확보하고, ②방호벽 설치기준 등을 완화하는 등 반도체 공장의 증설을 용이하도록 함으로써 반도체공장內 부지의 활용도를 제고하도록 하는 것이다.

* (EUV장비, Extreme Ultra Violet : 극자외선 파장) 네덜란드 ASML社가 생산하는 장비로 극자외선을 이용하여 반도체 회로를 그려주는 노광장비로, 차세대 EUV장비는 고압가스배관 재질을 슈퍼듀플렉스 소재를 사용하여 장비 효율을 높임

ㅇ 금번에 신속하게 개선할 예정인 고압가스안전 분야의 주요 규제혁신과제 내용은 다음과 같다.

➀ 차세대 EUV장비 국내도입 허용기준 개선

- (현행) 신소재재질의 배관(슈퍼듀플렉스강*)을 사용한 차세대 EUV장비가 개발완료 예정이나, 신소재 배관에 대한 고압가스법령內 사용규정이 없어 국내 도입이 불가한 상황으로,

* 스테인레스강 보다 내부식성, 저항성 등이 보완된 이중구조로된 신소재 배관

⇨ (개선) 차세대 첨단장비 선점을 위하여 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성을 검토 후, 가스상세기준을 개정하여 국내도입이 가능하도록 할 예정이다.

② 방호벽* 관련 다양한 설치기준 허용

* 고압가스 폭발시 인근에 보호시설(주택 및 학교 등) 및 인명 보호를 위한 방호벽

- (현행) 반도체공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물구조로, 깊이 묻어야 하는 기존 ①방호벽 지주의 고정방법*으로는 지주설치가 곤란하고, ②방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치가능하여 공장 증설에 어려움이 있어,

* 기존 기초에 400mm 이상의 깊이로 묻거나, 20 mm(앵커지름) 이상의 앵커볼트 사용

⇨ (개선) 가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는, 케미컬앵커* 등 ①다양한 지주설치방법을 허용하고, ②방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련하여 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 예정이다.

* 접착제 성분의 화학적 물질로 방호벽과 방호벽의 지주를 고정하는 방법

③ 공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛*) 기준 개선

* 가스용기를 보관할 목적으로 배기 등 안전장치가 설치된 강판제의 용기 보관함

- (현행) 저장용 실린더캐비닛은 공장내부에 설치 시 설치장소의 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 하므로 복층으로 공장증설時 가벼운 지붕은 상층의 바닥이 되어 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란하여,

⇨ (개선) 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련하여 반도체공장의 복층 증설을 용이하도록 할 예정이다.

□ 박일준 2차관은“반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다”고 강조하고,

ㅇ “앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴하여 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다”고 밝혔다.

붙임 1. 반도체산업관련 가스안전분야 규제개선 목록(11건)

2. EUV(Extreme Ultra Violet) 반도체 장비

3. 고압가스용기 저장용 실린더 캐비닛

4. 방호벽 지주 형식 (기존). 끝.

붙임1		반도체산업관련 가스안전분야 규제개선 목록(11개)

붙임 2		EUV(Extreme Ultra Violet) 반도체 장비

□ EUV 설비 개요

ㅇ 용용된 주석과 CO2 레이저를 활용해 13.5nm의 극자외선을  구현하는 노광설비

* 가스설비는 노광설비에 액체주석을 밀어내는 용도로 고압가스 사용

ㅇ 설비 크기 및 가격 : 83cm X 32cm X 34cm(높이), 약 2천억원

□ EUV 설비 외관

붙임 3		방호벽 지주 형식 (기존)

ㅇ ➊기초에 400mm 이상의 깊이로 묻거나, ➋20 mm(앵커지름) 이상의 앵커볼트를 사용하여 고정

➊일체로된 철근콘크리트 기초로 높이 350mm 이상, 되메우기 깊이 300mm 이상

➋“J형” 및 “L형”등으로 나사길이 50mm, 전길이 250mm

< 보관장소의 방호벽 고정방법 예 >

붙임 4		고압가스용기 저장용 실린더 캐비닛

ㅇ 가스용기를 보관할 목적으로 배기 등 안전장치가 설치된 강판제의 용기 보관함

외관	내부