보도일시	2020. 6. 17.(수) 배포시점부터 보도해주시기 바랍니다.
배포일시	2020. 6. 17.(수)	담당부서	융합기술과
담당과장	송완호 (044-202-4570)	담 당 자	홍석범 사무관(044-202-4575) 김태완 주무관(044-202-4577)
문 의	나노종합기술원 조주형 성과홍보관리실장 (042-366-2060)
비접촉 적외선 온도센서·체온계 기술자립 성공 - 독자개발 적외선 온도센서 활용 비접촉 체온계, 미국 FDA 공식 인정 -

□ 국내 중소기업이 반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원(원장 이조원, 이하 ‘나노종기원’)과의 양산기술 공동개발을 통하여 ‘비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서’의 양산에 성공하였다.

ㅇ 마이크로 적외선 센서(thermopile)

- 서로 다른 두 금속의 접촉 부위의 온도 차이에 의해 열기전력이 발생하는 원리를 이용하여 인체감지에 유리한 원적외선(8~14um대)을 검출하는 실시간 온도 측정 센서

ㅇ 코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하면서(주)템퍼스는 체온계용 적외선 온도센서의 대량양산 기술개발을 나노종기원과 공동으로 추진해 왔다.

ㅇ ㈜ 템퍼스

- (설립) ‘12년 9월, (대표자) 신백규, (직원) 44명, (매출액) ’20년 1분기 30억원

- 나노종합기술원 입주기업으로서 팹 시설을 활용하여 제품개발 추진

ㅇ 이번에 양산에 성공한 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서는 국내 최초로 반도체 호환공정을 적용하여 높은 수율 확보가 가능하고 공정단순화로 가격경쟁력을 획기적으로 높인 것이 가장 큰 장점이다.

□ 마이크로 적외선 센서는 그동안, 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점해 왔는데, ㈜템퍼스와 나노종기원이 공동개발을 통해,

ㅇ 미세기계전자시스템(MEMS)기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목하여 생산성을 획기적으로 향상하였고, 경쟁사 대비, 감도가 3~5배 우수한 특성을 확보하였다.

□  최근 코로나19로 인한 방역에 필수적인 비접촉식 체온계의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라, 중국 등 아시아, 미국, 유럽 등 해외에서 구매문의가 크게 늘고 있는 추세로,

ㅇ 이미 500만개의 온도센서를 국내·외 체온계 제작기업에 납품 완료하였고, 최근에는 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계에 대해 미국 식품의약국(FDA)의 공식 인정을 받아('20.6.15) 본격적인 미국 수출을 앞두게 되었다.

□ (주)템퍼스 신백규 대표는 “적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통하여 제품양산과 다양한 어플리케이션의 확대가 가능하게 되어, 국내·외 비접촉 체온계시장을 적극 공략할 계획이다.”라고 밝혔다.

□ 과기정통부 고서곤 기초원천연구정책관은 “시스템반도체 및 센서는 물론, 소재·부품·장비 기술자립 및 유망기업 육성을 위해, 나노종합기술원과 같은 나노인프라 기관과 수요기업간 연계를 지속적으로 강화하고 지원을 확대해 나갈 예정”이라고 밝혔다

□ 한편, 나노종기원은 자체 개발한 핵심공정기술*을 중소 센서기업인 ㈜트루윈에 이전하고, 공동으로 양산기술을 개발한 이후, 양산단계까지 지원하여, 지난 3월에 ‘적외선 열영상 센서’ 상용화에 성공한 바 있으며, ㈜트루윈이 양산·판매중인 센서와 적외선 영상 카메라는 코로나19로 인한 국내·외 수요 증대로 올해 약 145억원의 매출이 예상된다.

* (특징) 기존 센서제작 공정과 달리 ①반도체 공정 호환적용으로 수율제고 가능

②별도 패키징 공정이 필요없는 웨이퍼레벨 패키징으로 초소형화 가능

	< 전주기 지원 사업화 성과 >
ㅇ 원천기술개발(종기원) ⇨ 기술이전(종기원→기업) ⇨ 양산기술 공동개발 ⇨ 센서양산지원(종기원)

붙임 : 기술/제품 개요 등 관련 내용 각 1부.  끝.

	이 자료에 대하여 더욱 자세한 내용을 원하시면 과학기술정보통신부 홍석범 사무관(☎ 044-202-4575), 김태완 주무관(☎ 044-202-4577) 또는, 나노종합기술원 조주형 실장(☎ 042-366-2060)에게 연락주시기 바랍니다.

참고 1		비접촉식 체온계용 적외선 온도센서 기술 및 제품 개요

□ 써모파일 적외선 온도센서 기술 및 응용

ㅇ 마이크로 써모파일 적외선 온도 센서는 주변의 모든 물체에서 방출되는 8~14um 영역의 원적외선 파장을 검출하여 실시간 온도 출력이 가능한 제품

ㅇ 서로 다른 두 금속의 접촉 부위에 온도 차이가 있는 경우 열기전력이 발생하는 원리를 이용

ㅇ 마이크로 써모파일 적외선 온도 센서는 국내에서는 ㈜템퍼스가 유일하게 생산해 왔으며, 코로나19 대응을 위해 대량 양산에 착수

ㅇ 최근 코로나19 바이러스로 인한 체온 검사 등을 위해 중국, 미국 등이나 국내 관공서 중심으로 수요가 확대되고 있는 상황임

□ 개발제품의 차별점 및 경쟁력

ㅇ 개발제품의 평가 결과, 템퍼스 마이크로 써모파일 소자특성이 타사 써모파일 세계 최고제품 대비 5배 수준으로 우수

ㅇ 공인인증기관인 전자부품연구원(KETI)을 통해 2016년과 2017년 2회 평가 및 인증

ㅇ 비접촉식 적외선 온도센서 및 체온계는 미국 식품의약국(FDA) 공식 인정 (2020. 6. 15.)

참고 2		나노종합기술원 제품개발 지원 내용

□ 대량양산기술 지원(CMOS 공정기술)

ㅇ 지원기간 : 1차(‘20.3~’20.5), 2차(‘20.6~)

ㅇ 지원내용 : 1.1mm Thermopile 대량양산기술 (월 300장 이상)

ㅇ 지원성과 : 핵심공정기술 안정화를 통한 안정적 수율확보 및 원가절감

<CMOS공정 적용 전>        <CMOS공정 적용 후>

□ 성능 향상을 위한 공정 개선

ㅇ 지원기간 : ‘18.01~’18.12

ㅇ 지원내용 : 초도 양산기술 공정 (월 30장 이상)

ㅇ 지원성과

1. 비접촉식 적외선 온도센서 양산기술 확보

2. 노광장비 미세화 적용으로 생산성 확보

3. 감광제 잔류물 제거를 위한 세정공정 개선으로 수율 증가

<공정 개선 전>	<공정 개선 후>

참고 3		㈜템퍼스 소개

□ 회사 개요

ㅇ 소재지 : (본사) 서울특별시 노원구 공릉로 232 서울테크노파크 1207호

(대전사무소) 대전광역시 유성구 대학로 291(나노종합기술원)

ㅇ 대표자 : 신백규

ㅇ 설립일 : 2012년 9월

ㅇ 주요 연력

- ‘13년 7월 : 벤처기업확인(KIBO : 기술보증기금)

- ‘13년 11월: 마이크로 써모파일 개발

- ‘16년 9월 : Series-A 투자

- ‘17년 4월 : 마이크로 써모파일 양산

- ‘18년 9월 : Series-B 투자

- ‘19년 1월 : Series-C1 투자

- ‘19년 2월 : ISO 14001:2015, ISO 9001:2015

ㅇ 매출액 : 30억원(‘20년 1분기)

ㅇ 종업원 : 44명(’20년)

□ 사업 분야

ㅇ 마이크로 써모파일 화합물 기술과 적외선 멀티밴드 스펙트럼센서 모듈기술

- 적외선 온도센서 및 배면 근조도센서 모듈, CO2 가스센서 모듈 등

□ 사업화 현황 및 계획

ㅇ 가격 경쟁력있는 적외선 멀티밴드 분광센서

- 높은 SNR, 넓은 간지범위(WDR)의 마이크로 써모파일을 성공적으로 개발

ㅇ 독자적인 적외선 기술을 기반으로 더 나은 스마트 라이프에 대한 요구를 충족시킬 수 있음

ㅇ 독자적인 화합물 소자 기술을 기반으로 모듈 양산 플랫폼 구축

ㅇ 가적외선 분광센서의 가격/품질/사이즈를 혁신

ㅇ 템퍼스의 적외선 분광센서 제품은 모바일/컨슈머 등 다양한 영역에서 소비자의 새로운 경험을 확장시켜 나가고 있음